通常所说的高纯水，其定义不是很明确的，但一般都是指电阻率在10兆欧以上，即电解质浓度在0.01-0.02ppm以下的纯水。同时，还要考虑到水中含有的微粒、微生物、有机物、溶解 气体等等。另外，高纯水不仅仅应用于电子工业，还广泛应用于制药工业、化学试剂工业，以及火力、原子能发电站的锅炉水处理等方面。

当然，在这些领域中应用高纯水，在水质要求上是有一些不同的。例如在制药工业以及在火力发电站的某些应用中，对水中溶解氧的含量要求就很严格。所以所谓的高纯水，就是按照各自的目的和用途的不同，对某些特定的不纯物进行高度提纯的纯水。其中，电子工业对高纯水水质的要求是严格的。所以，在实际应用中，纯水设备产水或者超纯水设备产水又称为电子级超纯水或18兆欧超纯水。

目前国家颁布的《电子级水国家标准》低于水质的要求仍然是考虑电导率（电阻率）、微粒、微生物、有机物等几个方面。另外，有些情况下对水中溶解的氧等气体也有一定的要求。